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MBE法和HVPE法生長GaN光學性質比較

發布時間:2013-08-05 11:30:21點擊數:1003次

利用反射光譜和光致發光譜,對采用氫化物氣相外延法(HVPE)和分子束外延法(MBE)生長GaN樣品的光學性質進行了研究。由反射光譜得出樣品的膜厚和禁帶寬,同時也說明了HVPE法生長GaN的速率快于MBE法。而通過不同積分時間下的光致發光譜的分析,可以看出MBE制備樣品中沒有明顯的黃帶發光現象,而且帶邊發光峰光強比HVPE樣品強,初步結論是MBE比HVPE制備樣品質量好。

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